工廠廢氣處理的三個主要原因

***先是健康和安全，許多運用的進程氣體是易燃或爆炸性的，如H2或SiH4，而另一些則是COF2，HBr，F2等毒物，所以必須在觸摸人類或野生動物之前進行處理。***二個原因是所運用的許多氣體對環境是危險的，例如CF4，其運用壽數約為。在***氣中有五萬年的前史，其全球變暖潛力為二氧化碳的6.500倍。

工廠廢氣處理的***三個原因是許多廢氣在氣流中含有許多顆?；蚍蹓m。例如，這種粉塵通常是在根據硅烷（SiH4）的堆積進程中產生的，反響后的硅烷產生二氧化硅作為十分纖細的塵土作為廢產品。這種粉塵有或許損壞設備排氣，導致制造工廠意外停機。使塵土難以處理的是顆粒規范通常是亞微米級的并且簡單經過濕洗滌器或物理過濾器而不被捕集在洗滌液中。